Fabricante de equipos avanzados de procesamiento por plasma y haces de iones para la producción de microelectrónica, MEMS y componentes ópticos de precisión, tanto en producción de gran volumen como en entornos de investigación y desarrollo.

Gracias a su diseño flexible y modular, varias cámaras de proceso de vacío pueden combinarse en soluciones de clúster o en línea, según los requisitos específicos del cliente.