SENTECH Instruments GmbH
SENTECH desarrolla, fabrica y vende globalmente bienes de capital innovador centrados en películas delgadas en tecnología de semiconductores, microsistemas, energía fotovoltaica, nanotecnología e investigación de materiales. Experto en estructuración y deposición de películas delgadas mediante tecnología de proceso de plasma.
Ofrece sistemas para grabado con plasma, deposición química de vapor mejorada con plasma y deposición de capas atómicas, soluciones innovadoras para la caracterización óptica no invasiva y sin contacto mediante elipsometría y reflectometría.
Sistema de PECVD que genera un plasma de alta densidad, baja energía iónica y presión.
SENTECH ALD permite depositar capas mediante termal y plasma enhanced operacions
Sistema de grabado mediante plasma inducido acoplado con la mejor relación calidad-precio.
Elipsometría espectroscópica más rentable sin renunciar a unas prestaciones de medición avanzadas.
Superar los límites de la elipsometría láser: Determinación inequívoca del espesor con el mayor rango de medición.
El láser de HeNe estabilizado garantiza una precisión de 0,1 Å para la medición del espesor de capas ultrafinas.