Deposição

CVD

Sistema SI 500D

Sistema de PECVD que gera um plasma de alta densidade, baixa energia iónica e pessão.

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ALD systems

SENTECH ALD permite depositar camadas através de termal e plasma enhanced operacions

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Batch 350

Concebido para revestimentos biocompatíveis.

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Linha Cube

Revestimento PECVD e gravação de grandes áreas

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PVD

Magna 200

Sistema de revestimento à base de magnetrão sputtering

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Linha Multi

Depósito multicamadas em pastilhas até 300mm, 500mm, 680mm ou 1500mm.

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EVA 200

Electron beam evaporation system

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Línea Coat

Sistema de deposição baseados em ião beam sputtering

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Opto 300

Precisão em revestimentos óticos baseados em ião beam sputtering

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